尘埃粒子计数器是一种在洁净领域应用广泛的重要仪器,主要用于评定洁净室洁净度等级,还可用来检测过滤器的过滤效率、洁净织物的发尘量。使用的行业包含电子厂、药厂、医疗器械厂以及检测实验室等等。尘埃粒子计数器是利用光的散射原理对空气中的尘埃粒子数目和粒径进行计量,工作原理(图1):来自光源的光线被透视镜组聚焦于检测区域,尘埃粒子计数器通过采样泵使采样空气通过该区域。当一个尘埃粒子(简称粒子)通过时,便把入射光散射一次,产生一个光脉冲信号,经过放大、甄别,筛选出需要的信号,再通过计数系统显示出来,电脉冲信号的高度反映粒子的大小,信号的数量反映了粒子的个数。主要关注的技术指标就是粒子的大小和个数。
尘埃粒子计数器是国家规定的计量器具,需按计量检定规程每年定期校准。因为尘埃粒子计数器在使用一段时间后,其光学系统及检测系统都会发生变化,如光源老化、发光效率降低或聚焦错位、透镜被污染,从而使整机的转换灵敏度变化。尘埃粒子计数器的校准,就是对仪器各方面进行调整,以获得最佳工作状态。
现阶段常见的校准尘埃粒子计数器的方法是利用两类不同的尘埃粒子计数器的比值进行控制,即将最小可测粒径小于0.2微米的仪器称为A类仪器,其余的均为B类仪器。
在进行校准的时候,需要将A类仪器作为一个标准,从而通过计算得到B类计数器的技术效率,但是这种方式有一个严重的弊端,即A类尘埃粒子计数器无法被校准,只能默认其为准确的。
常用的是2009年修订的《尘埃粒子计数器性能实验方法》,利用计数效率、粒子相应电压及比较法进行校准,但是对于尘埃粒子计数器的准确性没有做出任何规定,又没有对该技术参数的检测方法提出任何建议,而准确性恰恰是尘埃粒子计数器的根本计量特征。