理音液体颗粒计数器的原理及应用

　　特点: 最小检测粒径0.2m,流量每分钟10毫升；粒径范围 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m；集成的泄漏传感器和报警输出；蓝宝石传感器用于KS-42BF。
 

　　采用的光散射法原理，可满足电子化学品，高纯化学试剂，配方化学品等药液中20nm-150um的粒径测量需求。
 

　　原理：光与颗粒发生作用主要分为三类，几何光学、米氏散 射和瑞利散射。当颗粒粒径远大于光波长时，以几何光学 为主；当粒径与波长相近时，以米氏散射为主；当粒径远 小于波长时，发生的是瑞利散射。液体颗粒计数器根据光 与颗粒作用的原理设计传感器结构，将计数器分为光阻法 和光散射法两类。
 

　　应用：可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。 液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。 另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。