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KS-41A/B光刻胶专用颗粒测试仪

简要描述:

宽广的测试范围,可测试0.1~0.5um之间的颗粒只需要小小的样品取样量就可以得到高效率高精准的颗粒数据。0.1µm,针对光刻胶测试机型,高准确度,低流量

更新时间:2019-11-29

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测试粒径:≧0.1µm,≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm
测试流速: 5 ml/min
最大浓度: 9600 pcs/mL 
电源需求: DC12V (Supplied by KE-40B1)
机台尺寸: 164 (H) x 464 (W) x 305 (D) mm (excl. protruding parts), 重量: 12.5 公斤

  • 可侦测到最小粒径0.1um的粒子(KS-41B)
  • 可自行设定的粒径范围0.1~0.5um(KS-41B),通过KE-40B1的控制器可扩充至10个通道

出厂设定为4通道: 0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um(KS-41A)

              5通道:0.1 /0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um(KS-41B)

  • 综合泄漏传感器与报警输出
  • 产品描述

       

    光散射法

           

    镭射二极管(波长830nm,输出功率:200Mw

       

    Class1,IEC 60825-1

       

    PIN type photodiode

    与样品接触部件材质

    KS-41: 石英、PFA、PTFE

     

    可测试样品种类

    任何不会腐蚀接触样品部件材质的液体

           

    PSL 标准液(粒径在1.6

       

    0.1 /0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5umKS-41B)

    通道(出厂设定)

     0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5umKS-41A)

        

    0.1~0.5umKS-41B) (可自行扩充至10个通道)

    0.15~0.5umKS-41A) (可自行扩充至10个通道)

       

    70%~110%

         

    10mL/min

    可测试粒子浓度

    1200/mL

    样品温度范围

    15~35 (毛细管内无凝固、无结露)

    样品测试压力范围

    不超过300kPa (表压)

       

    2(直径)*4(直径)管路

    气体清洗装置

    Rc1/8 ( 1/8PT female screw)

    数据传输及操作界面

    传输至KE-40B1,直接触摸屏操作无需外接电脑

    数据输出方式

    内置打印机/记忆卡存储

    泄露告警转换

    正常测试时告警端口短路,打开检测内部泄露

            

    DC 12V (由KE-40B1提供)

    测试环境条件

    15~35,湿度不超过85%(无结露)

    尺寸 & 重量

    160(H)*300(W)*250(D)mm (不含突出部分)

    约7.5kg

       

    管路配件组合 *1,讯号线(1m)*1,电源线*1

           

    讯号线 B (5m) KS-41

     

    KE-40B1 控制器

     

    显示接口:

    粒径区分:最大10个粒径  

    计数值:页面同时最大显示8个粒径

    操作:触摸屏

    测试:

    测试时间:2~2小时 (手动)

    测试模式:手动测试、平均值测试、循环测试、定时测试

    警报: 针对粒径选择,计数值的particle 超过所设的上限值而产生警讯 由机台背面 ALARM输出端子短路  (输入最大负荷电流 DC 30V  1A)

    通讯方式:RS-232

    数据输出:内建式打印机、连接计算机、CF记忆卡

    纪录纸:感热纪录纸(TP-08)  无尘感热纪录纸(TP-08)

    电源:AC100V~240V 50/60Hz, 75VA

    尺寸:140(H)*240(W)*150(D)mm  

    重量:3.8kg

     

    KZ-31W 取样器

     

    适用控制器型号:KE-40B1,KE-40B,KE-40

    取样针筒尺寸:25mL PP (原厂标配),25Ml 玻璃(客户选配)

    接触样品部件材质:PCTFE, PTFE, PFA, PP

    可测试样品:不会腐蚀部件的液体

    清洗模式:

    流速:5~100mL/min ,误差值:1mL/min

    容量:0~25mL ,误差值:0.5mL

    可重复测试次数:1~99次

    测试模式:

    流速:5~100mL/min,误差值:1mL/min

    容量:0~25mL,误差值:0.5mL

    前置量:0~10mL

    可重复测试次数:1~99次

    组合模式下测试的次数:2~10次

    显示:Segment type LCD

    测试环境要求:5~40,湿度不超过85%(无结露)

    样品温度范围:5~40

    储存温度及湿度范围:-10℃~50℃,湿度不超过85%(无结露)

    电源:100~240V AC+10%  50/60Hz, 约 50VA

    尺寸和重量:约 345(H)*141(W)*215(D)mm,约:5.5kg

    出厂标配:PFA 管 * 2、25mL PP取样针筒*1、电源线*1       

 

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