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超纯水(UPW)设施以及水清洗系统的颗粒监视和控制, 对越来越多类型的制造工业愈来愈重要. 例如,诸如平板显示器(FPD)和硬盘驱动器(HDD)部件的精密制造技术的改进要求能测出过程液体中小到0.1μm的污染物颗粒。
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