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ATI高效过滤器检漏仪
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洁净室(区)高效过滤器检漏测试的目的是确认过滤器系统安装正确,使用过程中无渗漏发生。洁净室高效过滤器检漏测试包括滤材、过滤器边框、密封垫和支撑架在内的整个过滤系统。已装过滤系统的检漏在“空态”或“静态”下进行,且该项检测是在新建洁净室调试时,或现有设施需要再检测时,或更换了末端过滤器之后进行。
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